高效率、高质量地完成样品制备
TEM薄片制备对于几乎每一位双束电镜用户显得至关重要。蔡司为特定位置的样品制备提供自动化工作流程，加工所得薄片适用于原子级别的高分辨率TEM和STEM成像和分析。导航到样品的感兴趣区域(ROI)，为您从大块样品中提取包括感兴趣区域(ROI)在内的TEM薄片，以进行大体积切割或挖槽，并在适当的位置进行提取和减薄。
导航到您的感兴趣区域。导航到您的感兴趣区域
1. 自动导航到样品的感兴趣区域(ROI)
无需耗时搜索感兴趣区域(ROI)即可开始工作流程
使用交换舱内的导航摄像头定位样本
集成的用户界面可以轻松导航到您的感兴趣区域(ROI)
让您受益于SEM的大型、无失真视场
2. 自动样品制备(ASP)可从大块样品中制备薄片
通过简单的三步流程开始制备
定义配方，包括漂移校正、沉积以及粗磨和细磨
FIB镜筒的离子光学器件可实现高通量工作流程
复制配方并根据要求重复操作，以开始批量制备
3. 提取薄片
装入显微操作器并将薄片连接到其
从大块样品上切下薄片
然后可以提取薄片并可以运送到TEM网格
4. 减薄：最后一步很关键，因为它决定了您的TEM薄片质量
该仪器的设计使您能够实时监测减薄过程，获得所需薄片厚度
同时使用两个监测器信号来判断薄片厚度，一方面您可获得可重复制作的最终厚度(使用SE探测器)，一方面您可控制表面质量(使用Inlens SE探测器)
制备高质量样品，其非晶化可忽略不计
